1:电子级超纯水标准
目前,电子级超纯水的标准主要包括以下几个方面: 1.电阻率:电子级超纯水的电阻率必须大于18.2MΩ*cm,以确保其较低的离子浓度和较高的纯度。 2.微生物:电子级超纯水中微生物的数量应小于10个微生物/毫升,以保证其高纯度。 3.有机物:电子级超纯水的有机物含量应小于0.5 ppb,以防止其对电子元器件产生影响。 4.颗粒物:电子级超纯水中颗粒物的大小应小于0.2微米,以确保其不会对微电子元器件造成损害。
2:电子级超纯水工艺特点
由于电子级超纯水对微电子元器件的质量和性能有着至关重要的影响,因此在生产过程中必须要严格控制其质量和纯度。遵循国际标准生产和销售的电子级超纯水,能够提高电子元器件的生产工艺和产品质量,为电子工业的发展打下坚实的基础。
电子级超纯水工艺采用:二级RO+EDI+氮封水箱+抛光混床+UV杀菌+电子级微孔过滤器组成,终端管道采用进口材质Clean-PVC管道保证洁净度要求;并配套TOC检测仪,颗粒度检测仪等仪表在线检测水质情况。
产水量可达到0.5吨-200吨/小时。
3:电子级超纯水设备图片